特許
J-GLOBAL ID：200903082207237886
形状可変アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094008
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 柔軟な動きによる、半導体製造装置における搬送機構に適したフレキシブルアクチュエータを提供する。【構成】 周回方向の強化繊維3は、チューブ2の半径方向の伸長を全域にわたって規制する。2箇所に設けられている軸方向の強化繊維(4および5)は、チューブ2の軸方向の伸長を部分的に規制するとともに、ウェハ等負荷の荷重によるチューブ2の上下方向の変形を防ぐ。かかるアクチュエータ1は、加圧されると軸方向の強化繊維(4および5)が接合されている所以外が軸方向に伸長するため、湾曲する。この動きはチューブ2に印加される空気圧によるものであるので柔軟性があり、他の部材に当たっても衝撃を与えることはなく、半導体製造装置におけるウェハ搬送に適している。
請求項（抜粋）：
柔軟性のあるチューブと、前記チューブの周囲に密に巻回された周強化繊維と、前記チューブに軸長のうちの一部にわたって軸方向に接合された軸強化繊維とからなるゴムアクチュエータにおいて、前記チューブの両端が固定されており、前記チューブには前記軸強化繊維が接合された箇所が複数箇所あることを特徴とする形状可変アクチュエータ。
IPC (2件)：
引用特許：
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