特許
J-GLOBAL ID：200903082215481150
ダイシング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270308
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120337
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 ダイシングによる硬質素材のワークの切断面にクラック破損の発生を生じにくくするダイシング方法を提供する。【構成】 ウェハーマウントフレーム3の片面に樹脂粘着テープ4を貼り付ける。ウェハーマウントフレーム3の開口部側からゴム板15を貼り付ける。ゴム板15を伸ばした後、ゴム板15にスプレーゴムのり20を吹きかけて、ウェハー2を貼り付け、その上から重り19で更にゴム板15を伸ばし、ウェハー2を固着させる。このようにマウントされたウェハー2にダイシングを行う。
請求項（抜粋）：
硬質素材のワークをワーク固定手段によりワークマウントフレームに固定させ、前記ワークにダイシングを行うダイシング方法において、前記ワークを、弾力素材ワーク固定手段を介して前記ワーク固定手段に固定させることを特徴とするダイシング方法。
引用特許：
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