特許
J-GLOBAL ID：200903082219321831
シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-079032
公開番号（公開出願番号）：特開平8-169798
出願日： 1991年04月24日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 シリコン単結晶引き上げを安定して行うことができる石英ガラスルツボを提供する。【構成】 外層部はNa、K、Liの含有量がそれぞれ0.3ppm以下であり、Al含有量が5ppm以上である多気泡石英ガラス層であり、内層部は高純度非晶質合成シリカ粉を溶融してなるOH基の含有量が200ppm以下の透明シリカガラス層である石英ガラスルツボ。その製造方法は、回転している型内に結晶質天然石英粉または該天然石英粉と合成シリカ粉との混合物を供給してルツボ形状の粉体層を形成し、粉体層の内面から加熱して粉体層を溶融させ、多気泡のルツボ基体を形成し基体内に高温雰囲気を形成し、OH基含有量が170ppm以下の高純度非晶質合成シリカ粉を供給し部分的に溶融させながら基体を内面に付着させ、基体の内面に所定厚さの透明合成シリカガラス層を形成する。
請求項（抜粋）：
外層部および内層部を有するシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボにおいて、前記外層部はNa 、K、Li の含有量がそれぞれ0.3ppm 以下であり、Al 含有量が5ppm 以上である多気泡石英ガラス層であり、内層部は高純度非晶質合成シリカ粉を溶融してなるOH基の含有量が200ppm 以下の透明シリカガラス層であることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ。
IPC (2件)：
C30B 29/06 502
, C30B 15/10
