特許

J-GLOBAL ID：200903082220105263

エキシマランプ、エキシマ照射装置および有機化合物の分解方法

発明者： 中村 勝
出願人/特許権者： クォークシステムズ株式会社 ,  株式会社渡邊商行
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059197
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260396
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 効率的にエキシマ光の照射を行うことができるフラット形のエキシマランプ、エキシマ照射装置、および、それらを用いた有機化合物の分解方法を提供する。【解決手段】 光透過性に優れる誘電体からなって大面積のエキシマ照射面3を有する薄箱形の放電容器2と、放電容器2内に充填された放電用の封入ガス5と、エキシマ照射面3の反対側の放電容器2表面上に配置された据付電極4とを少なくとも備え、1〜20MHzの高周波電圧7が、据付電極7とエキシマ照射面3上に設けられる外部電極6との間に印加されることによって、エキシマ照射面3からエキシマ光が照射されるエキシマランプによって、上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

光透過性に優れる誘電体からなって大面積のエキシマ照射面を有する薄箱形の放電容器と、当該放電容器内に充填された放電用の封入ガスと、前記エキシマ照射面の反対側の前記放電容器表面上に配置された据付電極とを少なくとも備え、1〜20MHzの高周波電圧が、前記据付電極と前記エキシマ照射面上に設けられる外部電極との間に印加されることによって、前記エキシマ照射面からエキシマ光が照射されることを特徴とするフラット形のエキシマランプ。

IPC (5件)：

H01J 65/04 ,  A62D 3/00 ZAB ,  B01J 19/12 ,  C02F 1/30 ,  H01J 61/16

FI (5件)：

H01J 65/04 A ,  A62D 3/00 ZAB ,  B01J 19/12 C ,  C02F 1/30 ,  H01J 61/16 Z

Fターム (15件)：

2E191BA12 ,  2E191BA15 ,  2E191BD17 ,  4D037AB14 ,  4D037BA16 ,  4G075AA22 ,  4G075BA04 ,  4G075BD05 ,  4G075CA33 ,  4G075DA02 ,  4G075EA02 ,  4G075EB31 ,  4G075EE03 ,  4G075FC04 ,  5C039NN07