特許

J-GLOBAL ID：200903082225055248

基板冷却装置

発明者： 大谷 正美 ,  今西 保夫 ,  辻 雅夫 ,  岩見 優樹 ,  西村 讓一 ,  森田 彰彦
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186494
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031648
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 装置全体としての占有スペースを小さくした基板冷却装置を提供する。【解決手段】 基板冷却装置の筐体10の内部に5つの冷却処理部15を設けている。各冷却処理部15の天井10aを含む筐体10の構成部材内部には、その全体に配管が設けられている。そして、筐体10の外部に設けられた恒温水供給手段21から恒温水が供給され、その恒温水が当該配管内を循環することによって筐体10全体が一定の温度に維持される。一方、各冷却処理部15のそれぞれにおいて、エアシリンダのピストン32により基板Wの昇降が可能とされている。冷却処理を行う際、基板Wはその表面が天井10aからわずかに間隔を隔てて近接した位置まで上昇される。これにより、基板冷却専用の手段を設けることなく基板Wを恒温水の温度まで冷却することができる。

請求項（抜粋）：

基板を収納して冷却処理を行う基板冷却装置であって、(a) 基板を収納して保持する筐体と、(b) 前記筐体を冷却する冷却手段と、を備えることを特徴とする基板冷却装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/30 567 ,  H01L 21/324 W ,  H01L 21/30 502 H