特許
J-GLOBAL ID：200903082225252922
窒化珪素質焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237742
公開番号（公開出願番号）：特開平7-089767
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【構成】窒化珪素結晶相と、少なくとも周期律表第3a族元素を含有するガラス相および/または結晶相からなる粒界相とから構成される窒化珪素質焼結体を、酸化タングステンあるいは酸化珪素を含有する1050〜1290°Cの非酸化性雰囲気で熱処理する。【効果】機械的強度の劣化なしに焼結体の均質化を図ることができ、これにより、高い強度を有する焼結体を特性のバラツキなく安定して製造できる。
請求項（抜粋）：
窒化珪素結晶相と、少なくとも周期律表第3a族元素を含有するガラス相および/または結晶相からなる粒界相とから構成される窒化珪素質焼結体を、酸化タングステンあるいは酸化珪素を含有する1050〜1290°Cの非酸化性雰囲気で熱処理することを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C04B 35/58 102 C
, C04B 35/58 102 X
, C04B 35/64 M
