特許
J-GLOBAL ID：200903082226538420
溶液中走査型トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-085784
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288714
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 対極と探針を一体構造とすることにより、探針直下の試料表面上に局所的な電気化学反応を起こさせ、同時にトンネル顕微鏡像を測定することが可能となる。【構成】 電気化学セル4中に試料2と参照電極3、対極/探針一体電極1を配置し、溶液5を入れる。試料/探針の電位制御・電流検出部で、探針直下の表面の局所的電気化学反応制御を行う。同時に、XYZ3軸制御機構6とXY軸制御・Z軸制御部で探針の走査を制御し、STM測定を行い、画像処理部でトンネル顕微鏡を得る。
請求項（抜粋）：
試料、対極、参照電極および探針を溶液中に配置した電気化学セルを用い、試料と探針の電位を設定し、試料と対極との間に流れる電流、および探針と試料との間に流れるトンネル電流を検出する溶液中走査型トンネル顕微鏡において、前記対極と探針が一体となった一体電極であることを特徴とする溶液中走査型トンネル顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 27/416
, G01B 7/34
, G01N 27/30
, H01J 37/28
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)
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