特許

J-GLOBAL ID：200903082229807600

光電変換素子の測定方法および装置、光電変換素子の製造方法及び製造装置

発明者： 松山 深照
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-200388
公開番号（公開出願番号）：特開2004-134748
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：

【課題】パルス光や太陽光などの強度が変動する光の下であっても、光電変換素子の電流電圧特性を正確に測定できる方法を提供する。【解決手段】基準デバイス103と光電変換素子102に同時に光を照射し、基準デバイスを用いて放射照度を検出しつつ、光電変換素子の電流電圧特性を測定する方法において、基準デバイス103を用いた放射照度検出回路104の光応答時定数が、光電変換素子102の光応答時定数に近づくように、基準デバイスを用いた放射照度検出回路の光応答時定数を調整することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基準デバイスと光電変換素子に同時に光を照射し、基準デバイスを用いて放射照度を検出しつつ、光電変換素子の電流電圧特性を測定する方法において、基準デバイスを用いた放射照度検出回路の光応答時定数が、光電変換素子の光応答時定数に近づくように、基準デバイスを用いた放射照度検出回路の光応答時定数を調整することを特徴とする光電変換素子の測定方法。

IPC (4件)：

H01L31/04 ,  G01J1/00 ,  G01M11/00 ,  G01R31/26

FI (4件)：

H01L31/04 K ,  G01J1/00 B ,  G01M11/00 T ,  G01R31/26 F

Fターム (26件)：

2G003AA06 ,  2G003AB00 ,  2G003AB01 ,  2G003AH02 ,  2G003AH05 ,  2G065AA03 ,  2G065AA04 ,  2G065BA09 ,  2G065BA10 ,  2G065BC10 ,  2G065CA09 ,  2G065DA02 ,  2G065DA05 ,  2G065DA17 ,  2G086EE04 ,  5F051AA05 ,  5F051DA04 ,  5F051DA15 ,  5F051EA06 ,  5F051GA02 ,  5F051GA03 ,  5F051KA09 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB09 ,  5H032BB10