特許

J-GLOBAL ID：200903082232875099

剥離装置及び剥離方法

発明者： 中田 幹 ,  長尾 昌哉
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人青莪
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-315015
公開番号（公開出願番号）：特開2009-141070
出願日： 2007年12月05日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：

【課題】ウエハ等の第1の板状部材W1に接着シートSを介して第2の板状部材W2が接着された板状の処理対象物Wから第2の板状部材W2を剥離する小型で制御が簡単な剥離装置を提供する。【解決手段】第1の板状部材W1に接着シートSを介して第2の板状部材W2が接着された板状体を処理対象物Wとし、当該処理対象物Wから第2の板状部材W2を剥離する剥離装置において、前記処理対象物Wを第1の板状部材W1側から支持する支持手段1と、前記処理対象物Wから第2の板状部材W2を剥離する剥離手段2とからなり、前記剥離手段2は、第2の板状部材W2と接着シートSとの間に挿入可能な楔体4と、当該楔体4を接着シートSから離隔する方向に変位させる変位手段6と、前記楔体4を第2の板状部材W2と接着シートSとの界面Pに沿って移動させる移動手段5とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の板状部材に接着シートを介して第2の板状部材が接着された板状体を処理対象物とし、当該処理対象物から第2の板状部材を剥離する剥離装置において、 前記処理対象物を第1の板状部材側から支持する支持手段と、 前記処理対象物から第2の板状部材を剥離する剥離手段とからなり、 前記剥離手段は、第2の板状部材と接着シートとの間に挿入可能な楔体と、当該楔体を接着シートから離隔する方向に変位させる変位手段と、前記楔体を第2の板状部材と接着シートとの界面に沿って移動させる移動手段とを備えることを特徴とする剥離装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (3件)：

5F031DA13 ,  5F031MA22 ,  5F031MA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 脆質部材の転着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-237332   出願人：リンテック株式会社