特許

J-GLOBAL ID：200903082235778639

磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜、その製造方法および磁気ヘッド

発明者： 八重樫 誠司
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 倉橋 暎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-184069
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012437
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 α-Fe2 O3 の基板にバッファ層を介して形成したFe-M-C系ナノ結晶合金もしくはFe系合金からなる合金磁性膜の熱処理時に、基板にFe3 O4 の強磁性体層が生成するのを防いで合金磁性膜に高透磁率を維持した、高飽和磁化および高透磁率を有する磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜を提供することである。【解決手段】 Fe-M-C系ナノ結晶合金もしくはFe系合金の合金磁性膜1は、α-Fe2 O3 の基板3上にバッファ層2を介して成膜され、基板付き磁性膜とされている。このバッファ層2を、従来使用してAl2 O3 よりも生成自由エネルギーが小さく、酸素との親和力が小さいCoxOy(ただし、y/x=1〜4/3の数値)で形成することにより、合金磁性膜1の成膜後の熱処理時に、基板3のα-Fe2 O3 がFe3 O4 に還元されるのを防いだ。

請求項（抜粋）：

α-Fe2 O3 の基板上にバッファ層を介して、Fe-M-C系ナノ結晶合金(ただし、M: IVB族、VB族、IIIA族、IVA 族の元素)もしくはFe-M系合金(ただし、M: IVB族、VB族、IIIA族、IVA 族の元素)からなる合金磁性膜を形成した磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜において、バッファ層をCoxOy(ただし、y/x=1〜4/3の数値)で形成したことを特徴とする磁気ヘッド用基板付き合金磁性膜。

IPC (4件)：

H01F 10/14 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/31

FI (5件)：

H01F 10/14 ,  G11B 5/127 K ,  G11B 5/147 ,  G11B 5/31 G ,  G11B 5/31 C