投影光学系の組立調整方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日比谷征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176744
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】投影光学系の光学部品の作製誤差により生ずる光学性能の劣化を良好に修正する。【解決手段】投影光学系を構成する複数枚のレンズを通常のレンズエレメントAと性能調整に用いるレンズエレメントBとに分け、レンズエレメントAを先に加工し、面形状測定を行う。面形状測定したデータを基に、発生する性能劣化を予測し、最適化計算によって、最適な各レンズエレメント間隔と最適なレンズエレメントBの形状、肉厚d、非球面量等を決定する。そして、この計算結果に基づいてレンズエレメントBを加工し、レンズエレメント間隔の調整等を行って性能劣化を最小にして組立を完成する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1個の光学部材と、少なくとも1個の補正用光学部材とから成る投影光学系の組立調整方法において、前記光学部材を加工して該光学部材の光学的特性を測定する第1の工程と、該測定結果から前記投影光学系としての光学的性能を良好に補正する前記補正用光学部材の光学的特性を算出する第2の工程と、該第2の工程において算出した光学的特性となるように前記補正用光学部材を加工して該補正用光学部材の光学的特性を測定する第3の工程と、前記光学部材及び前記補正用光学部材の全てを組み立てて光学的性能の調整を行う第4の工程とから成ることを特徴とする投影光学系の組立調整方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

投影光学装置の調整方法及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-009687 出願人：株式会社ニコン
投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-252387 出願人：株式会社ニコン
フライバックトランス
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-091070 出願人：株式会社日立メディアエレクトロニクス

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