特許

J-GLOBAL ID：200903082239015770

圧縮機

発明者： 佐藤 和弘 ,  水野 尚夫
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 菅沼 徹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-350138
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173268
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】吐出チャンバ44の共鳴に基づく振動及び圧力変動が吐出管83を介して伝播するのを防止する。【解決手段】 吐出管83を吐出チャンバ44内に挿入し、この吐出管83に吐出チャンバ44の共鳴モードの位相差のある部位に開口する吸入口84、85を設けたため、吸入口から吐出管に吸入された位相差のあるガスの相互干渉によって脈動を低減することができる。吸入口を吐出管の内端に形成された入口84と吐出管の側壁に穿設された穴85によって構成すれば、入口から吸入されたガスの位相と穴から吸入されたガスの位相を容易に逆位相とすることができるので、脈動を効果的に低減できる。吸入口を吐出管の内端を傾斜開口又はステップ状開口によって構成すれば、このステップ状開口から位相が異なるガスを吸入できるので、多くの共鳴モードがある場合であっても脈動を低減できる。

請求項（抜粋）：

吐出ポートから吐出チャンバに吐出された高周波の圧力変動成分を有する圧縮ガスが吐出管を経て吐出される圧縮機において、上記吐出管を上記吐出チャンバ内に挿入し、この吐出管に上記吐出チャンバの共鳴モードの位相差のある部位に開口する吸入口を設けたことを特徴とする圧縮機。

IPC (3件)：

F04B 39/00 101 ,  F04C 18/02 311 ,  F04C 29/06

FI (3件)：

F04B 39/00 101 P ,  F04C 18/02 311 P ,  F04C 29/06 D