特許

J-GLOBAL ID：200903082245288508

電子放出素子、電子源、それを用いた画像形成装置、及びそれらの製造方法

発明者： 柴田 雅章 ,  山本 敬介 ,  山野辺 正人 ,  荒井 由高 ,  塚本 健夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-197272
公開番号（公開出願番号）：特開平9-102267
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 安定な電子放出特性を有し、且つ電子放出効率の高い電子放出素子を提供する。【解決手段】 電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子において、導電性膜4が高い融点と低い仕事関数を有する金属酸化物相6により被覆されていることを特徴とする。【効果】 導電性膜4の融解や凝集による素子劣化が防止される。

請求項（抜粋）：

基体上に、対向する一対の素子電極と、該素子電極に電気的に連絡して形成された導電性膜と、該導電性膜の一部に形成された電子放出部を有する、電子放出素子において、該導電性膜の一部又は全部が、金属酸化物を主成分とする金属酸化物相により被覆されており、該金属酸化物が上記導電性膜の主成分である材料と比較して融点が高く、さらに炭素ないし炭素化合物ないし両者の混合物よりなる堆積層を有することを特徴とする電子放出素子。

IPC (3件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 B ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 C