特許

J-GLOBAL ID：200903082246532470

走査形電子顕微鏡装置

発明者： 宮田 栄一 ,  富澤 淳一郎 ,  木村 政司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147192
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343293
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】傾斜した試料面を観察する時の焦点補正で発生する湾曲歪みが、近年の低倍率で60°以上傾斜させて測定するアプリケーションの普及とともに問題になってきた。【解決手段】電子ビームの走査の方向を、対物レンズの焦点補正に伴って発生する回転歪みと逆方向に回転させることにより歪みを補正する。【効果】傾斜した試料面の観察に際し、全面に焦点が合うように焦点補正を行い、かつ、湾曲歪のない画像を得ることができる。

請求項（抜粋）：

電子ビーム光軸に対する垂直面に対して傾斜した試料面の観察のために、電子ビームの走査に連動して対物レンズの焦点距離を変化させる機能と、焦点距離の変化に伴う像面の回転に起因する電子ビーム走査方向の回転を、偏向磁界を電子ビームの走査に連動して逆方向に回転させることにより補正する機能とを備え、試料面の全面に焦点があっているとともに、回転歪のない画像を得られることを特徴とする走査形電子顕微鏡装置。

IPC (3件)：

H01J 37/147 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/21

FI (4件)：

H01J 37/147 B ,  G21K 5/04 C ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/21 B

Fターム (4件)：

5C033FF03 ,  5C033FF05 ,  5C033FF08 ,  5C033MM04