特許

J-GLOBAL ID：200903082259003212

液晶装置の製造方法、及び蒸着基板の製造装置

発明者： 岡崎 剛史
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-373337
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172936
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】液晶装置の製造方法及び製造装置に関して、均一な配向膜を得る。【解決手段】液晶装置の製造方法及び製造装置に関して、基板に対して斜め方向から無機化合物を蒸着して行う液晶装置の配向制御において、蒸発源と基板との間に格子状遮蔽物を設け、その格子状遮蔽物内部に電界をかけることによって蒸着角の一定にし、均一な無機配向膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

液晶を挟持する一対の基板のうち、少なくとも一方の前記基板に対して斜め方向から無機化合物を蒸着させる斜方蒸着によって前記基板に無機配向膜を形成する液晶装置の製造方法であって、前記無機化合物の蒸発源と前記基板との間に複数の貫通した空洞部を有する格子状遮蔽物を配置し、前記蒸発源の前記無機化合物を蒸発させるとともに前記格子状遮蔽物に設けられた電極に電圧を印加して前記基板に前記無機配向膜を形成することを特徴とする液晶装置の製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/1337 515 ,  C23C 14/24

FI (2件)：

G02F 1/1337 515 ,  C23C 14/24 G

Fターム (15件)：

2H090HB03Y ,  2H090HB08Y ,  2H090LA01 ,  2H090LA12 ,  2H090LA16 ,  2H090MA07 ,  2H090MA11 ,  2H090MB01 ,  2H090MB06 ,  4K029BA46 ,  4K029BC07 ,  4K029CA03 ,  4K029CA15 ,  4K029DA12 ,  4K029EA07