特許

J-GLOBAL ID：200903082273209370

アレイセンサ

発明者： 上坂 博二 ,  山岸 豊 ,  中田 嘉昭 ,  坂東 直人
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-147829
公開番号（公開出願番号）：特開2004-347567
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】全ての測定領域において全く欠陥のない測定値を得ることができると共に、歩留りのよいアレイセンサを提供する。【解決手段】複数のセンサ部7を並べて配置してなるアレイセンサ3であって、一つのセンサ部7内に重畳的視野を有する複数のセンサ素子6(6L,6R)を配置すると共に、各センサ部7内において最も性能の良いセンサ素子6Lまたは6Rによる測定信号を選択する選択回路20を設けてなる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数のセンサ部を並べて配置してなるアレイセンサであって、 一つのセンサ部内に重畳的視野を有する複数のセンサ素子を配置すると共に、各センサ部内において最も性能の良いセンサ素子による測定信号を選択する選択回路を設けてなることを特徴とするアレイセンサ。

IPC (4件)：

G01J5/48 ,  G01J1/02 ,  G01J1/44 ,  H01L27/14

FI (5件)：

G01J5/48 E ,  G01J1/02 C ,  G01J1/02 Q ,  G01J1/44 N ,  H01L27/14 K

Fターム (32件)：

2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA15 ,  2G065BA34 ,  2G065BC10 ,  2G065BC14 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065BE08 ,  2G065DA01 ,  2G065DA05 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BB20 ,  2G066BC11 ,  2G066BC15 ,  2G066CA02 ,  2G066CB03 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA06 ,  4M118CA19 ,  4M118CA20 ,  4M118CA24 ,  4M118CB20 ,  4M118GA10 ,  4M118GD03 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07