特許
J-GLOBAL ID:200903082279578416

温度制御装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-327399
公開番号(公開出願番号):特開平8-186205
出願日: 1994年12月28日
公開日(公表日): 1996年07月16日
要約:
【要約】【目的】 ペルチェ素子1を周囲温度より異なる温度に保持したヒートシンク部材6に熱的に接触させ、短時間に大きな熱流束で被温度制御物体を加熱・冷却するコンパクトな温度制御装置を提供する。【構成】 被温度制御物体3が配置される一方の面とヒートシンク部材6が熱的接触配置される他方の面とを有するペルチェ素子1およびこのペルチェ素子1への極性を反転する通電により電子冷熱を促す電気制御回路12を具備し、ヒートシンク部材の非定常熱伝導時にペルチェ素子の電子冷熱により被温度制御物体に急速温度変化を生じさせる温度制御装置である。ここで、電気制御回路は被温度制御物体のレーザ3の動作状態を示す信号またはペルチェ素子1の一方の面に配置した温度センサの検知信号に応じて通電状態を可変させ、被温度制御物体を予め定められた温度プロファイルで制御する方法が開示され、それにより所望する温度制御が実現される。
請求項(抜粋):
被温度制御物体が配置される一方の面とヒートシンク部材が熱的接触配置される他方の面とを有するペルチェ素子と、前記ヒートシンク部材を放熱または吸熱により周囲温度と異なる温度に保持するサーモモジュールと、前記ペルチェ素子への通電を極性反転させて電子冷熱を促す電気制御回路とを具備し、前記ヒートシンク部材の非定常熱伝導時に高熱流束を生じさせ、前記ペルチェ素子の電子冷熱により前記被温度制御物体の温度を急速変化させることを特徴とする温度制御装置。
IPC (2件):
H01L 23/38 ,  H01S 3/133
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭61-253842
  • 特開平1-214072
  • 特開平4-137658
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