特許
J-GLOBAL ID：200903082304750660
光学式エンコーダ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
横沢 志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158271
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350188
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：
【要約】【課題】 光透過格子及び受光素子を備えた半導体移動板が簡単な製造工程により歩留まり良く製造できるように構成された光学式エンコーダを実現すること。【解決手段】 光学式リニアエンコーダ1は、光透過格子3および格子状のホトダイオード4A、4Bが形成されたシリコン基板からなる移動板5を備えている。移動板5の光透過格子3は、移動板5をエッチングして形成した光透過性の薄膜部分41の表面に、アルミニウム薄膜からなる遮光膜42を積層することにより形成されている。光透過格子を半導体基板に形成したスリットとする場合に比べて、半導体基板のエッチング工程を簡略化でき、また、光透過格子が形成されている半導体基板部分の強度低下を抑制できる。よって、移動板5を歩留まり良く簡単な工程により製造できるので、その分、廉価かつ簡単に光学式リニアエンコーダを製造可能になる。
請求項（抜粋）：
光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の光透過格子と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記光透過格子の相対速度を検出する光学式エンコーダであって、前記反射格子が形成されている反射格子板と、前記光透過格子および前記受光素子が作り込まれている半導体基板とを有し、この半導体基板は、前記光透過格子が所定間隔で配列された光透過領域と、この光透過領域の一方の側に形成され、前記受光素子が所定間隔で配列された第1の受光領域と、前記光透過領域の他方の側に形成され、前記受光素子が所定間隔で配列された第2の受光領域とを備え、前記光透過格子は、前記半導体基板に形成した光透過性の薄膜部分と、この薄膜部分の表面に積層した遮光膜とによって規定されていることを特徴とする光学式エンコーダ。
Fターム (18件)：
2F103BA00
, 2F103BA31
, 2F103BA37
, 2F103CA01
, 2F103CA02
, 2F103CA03
, 2F103DA01
, 2F103DA12
, 2F103EA00
, 2F103EA17
, 2F103EA20
, 2F103EB06
, 2F103EB12
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EB37
, 2F103FA12
, 2F103GA15
