化学蒸着用ベーパライザ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-549587
公開番号（公開出願番号）：特表2005-511894
出願日： 2002年12月04日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：

【解決手段】液体先駆物質ブレンド(114)の複数の先駆物質成分に対し液体状態を支持する環境を有する液体供給アッセンブリ(102)と、前記液体先駆物質ブレンドを霧化する働きをするベンチュリ(112)と、前記液体供給アッセンブリと前記ベンチュリの近くに配置され、前記複数の先駆物質成分に対し蒸気状態(148)を支持する環境を有する蒸発室(106)と、前記液体供給アッセンブリと前記蒸発室の間に配置され、前記液体供給アッセンブリとその近くに位置している前記蒸発室の間の実質的な温度の相違を保持できるようにする熱障壁(104)と、を備えている化学蒸着(CVD)ベーパライザ。

請求項（抜粋）：

蒸気を蒸着室に供給する方法において、先駆物質ブレンド(114)を液体状に維持する段階と、前記先駆物質ブレンドを霧化する(146)段階と、前記霧化された先駆物質ブレンドの全ての先駆物質成分を実質的に同時に蒸発させる段階と、前記蒸発の後、前記蒸発した先駆物質成分を蒸気状に保持し、蒸発した先駆物質ブレンド(148)を供給するする段階と、から成る方法。

IPC (2件)：

C23C16/448 , H01L21/31

FI (2件)：

C23C16/448 , H01L21/31 B

Fターム (8件)：

4K030EA01 , 4K030EA04 , 4K030EA05 , 4K030JA03 , 5F045AA04 , 5F045AB31 , 5F045AC07 , 5F045EE02

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許出願第09/446,226号
米国特許第6,056,994号
米国特許第5,614,252号

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