高純度チタン錯体及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-067441
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271253
出願日： 1992年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】【構成】分子式 Ti(R1)2(R2)2 ......(I)(ただし、R1はβ-ジケトンを示し、R2はアルコキシ基を示す)で表され、次の特性、?@熱重量分析による不純物気化量が0.01重量%未満であること、?A熱重量分析によるキレート気化量が99.5重量%以上であること、?B元素分析により、炭素が理論値の99.0〜101.0%であること、?C元素分析により、水素が理論値の99.0〜101.0%であること、?DICP分析により、チタン含有量が理論値の99.0〜101.0%である特性を有する高純度チタン錯体。【効果】本発明による高純度チタン錯体は、蒸発温度が低く揮発性、反応性が良好であって腐食性の塩素を生成しないなどの利点を有し、さらに極めて高純度なものなので、CVD法により良質のチタン含有複合酸化物を製造できる。

請求項（抜粋）：

分子式(I)Ti(R1)2(R2)2 ......(I)(ただし、R1はβ-ジケトンを示し、R2はアルコキシ基を示す)で表され、次の特性、?@熱重量分析による不純物気化量が0.01重量%未満であること、?A熱重量分析によるキレート気化量が99.5重量%以上であること、?B元素分析により、炭素が理論値の99.0〜101.0%であること、?C元素分析により、水素が理論値の99.0〜101.0%であること?DICP分析により、チタン含有量が理論値の99.0〜101.0%であることを備えていることを特徴とする高純度チタン錯体。

IPC (2件)：

C07F 7/28 , C23C 16/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭48-034132
特開昭60-081140
特開昭61-136995

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