特許
J-GLOBAL ID：200903082311169710
チツソリフロー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-170984
公開番号（公開出願番号）：特開平5-015970
出願日： 1991年07月11日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：
【要約】【目的】 入口部および出口部から加熱室内に外部空気が流入するのを防止する。【構成】 ヒータ2が配設された加熱室1と、この加熱室1の入口部5から出口部6へ基板Sを搬送するコンベア4と、上記加熱室1にチッソガスN2を供給するチッソガス供給部9とを備えたチッソリフロー装置において、上記加熱室1の入口部5および/または出口部6の下部に、加熱室1内に流入する外部空気Eを暖める外気用ヒータ10を設けたものである。
請求項（抜粋）：
ヒータが配設された加熱室と、この加熱室の入口部から出口部へ基板を搬送するコンベアと、上記加熱室にチッソガスを供給するチッソガス供給部とを備えたチッソリフロー装置において、上記加熱室の入口部および/または出口部の下部に、上記加熱室内に流入する外部空気を暖める外気用ヒータを設けたことを特徴とするチッソリフロー装置。
IPC (2件)：
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