特許
J-GLOBAL ID：200903082312475008
金属層張り基板の表面研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-098719
公開番号（公開出願番号）：特開平5-309567
出願日： 1991年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 量産的かつ経済的に所要のナシ地面化を容易に達成し得る金属層張り基板の表面研磨装置を提供する。【構成】 搬送機構7に載置・搬送される金属層張り基板8の金属層主面が開口して閉鎖的な領域を形成する閉鎖領域形成構体9を設ける。閉鎖領域形成構体9内に金属層張り基板8の金属層主面に磁性研磨剤粉を分散含有する高圧気体を吹き付ける磁性研磨剤粉吹き付け手段と、吸引口が連接して吹き付けられた磁性研磨剤粉および金属層の研削屑を含有する気体を吸引する排気手段とを設ける。排気手段で吸引された気体中の磁性研磨剤粉を分離・回収する研磨剤粉の分離・回収手段を設ける。【効果】 磁性研磨剤粉の付着による研磨ムラ発生も容易に低減ないし防止され、磁性研磨剤粉を再使用した場合も一様な研磨処理を達成し得る。
請求項（抜粋）：
金属層張り基板を載置して搬送する搬送機構と、前記搬送機構に載置・搬送される金属層張り基板の金属層主面が開口して閉鎖的な領域を形成する閉鎖領域形成構体と、前記閉鎖領域形成構体内で金属層張り基板の金属層主面に磁性研磨剤粉を分散含有する高圧気体を吹き付ける磁性研磨剤粉吹き付け手段と、前記閉鎖領域形成構体内に吸引口が連接して吹き付けられた磁性研磨剤粉および金属層の研削屑を含有する気体を吸引する排気手段と、前記排気手段で吸引された気体中の磁性研磨剤粉を分離・回収する研磨剤粉の分離・回収手段とを具備して成ることを特徴とする金属層張り基板の表面研磨装置。
IPC (5件)：
B24C 3/12
, B24C 1/06
, B24C 9/00
, B24C 11/00
, H05K 3/38
