特許
J-GLOBAL ID：200903082324021584
エキシマレーザ加工方法およびその加工方法を実施するエキシマレーザ加工装置およびその加工装置によって形成されたノズルシートおよびそのノズルシートを有するインクジェット記録ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088288
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297180
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、エキシマレーザ光を照射して被加工部材を所定形状に加工するエキシマレーザ加工方法およびその加工装置に関し、加工面に微小破片が堆積することを防止して加工効率を向上させ低コストのノズルシートおよび噴射特性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。【構成】 内部を所定の加工雰囲気に保つ真空容器12と、真空容器12内にシート11の加工面11aを鉛直に保持するステージ13と、エキシマレーザ光を透過する窓14と、入射されたエキシマレーザ光を偏向しシート11の加工面11aに照射する偏向ミラー15と、窓14および偏向ミラー15間に設けられエキシマレーザ光を透過する防着板16と、排気装置を継合される排気口17と、酸素を10atm%以上含むガスを供給するガス供給手段を継合されるガス導入口18と、窓14を介してエキシマレーザ光を入射するエキシマレーザ光照射手段19と、から構成されている。
請求項（抜粋）：
被加工部材の加工面にエキシマレーザ光を照射してその被加工部材を所定形状に形成するエキシマレーザ加工方法であって、前記被加工部材を所定圧力に減圧した加工雰囲気内に保持し、該加工雰囲気内で前記エキシマレーザ光を被加工部材に照射することを特徴とするエキシマレーザ加工方法。
IPC (4件)：
B23K 26/12
, B23K 26/08
, B23K 26/14
, B41J 2/135
