特許
J-GLOBAL ID:200903082330266475
プラズマを利用した表面処理方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-045969
公開番号(公開出願番号):特開平9-241409
出願日: 1996年03月04日
公開日(公表日): 1997年09月16日
要約:
【要約】【課題】 基材に耐久性に優れた疎水性能を与える表面処理方法を提供する。【解決手段】 不飽和結合を有するフッ化炭素ガス濃度が0.1〜10体積%である、不飽和結合を有するフッ化炭素ガスと不活性ガスの混合気体中で発生させた放電プラズマを接触させた基材処理面に、電子線又は真空紫外線を照射する。
請求項(抜粋):
不飽和結合を有するフッ化炭素ガス濃度が0.1〜10体積%である、不飽和結合を有するフッ化炭素ガスと不活性ガスの混合気体中で発生させた放電プラズマを接触させた基材処理面に、電子線又は真空紫外線を照射することを特徴とする基材の表面処理方法。
IPC (4件):
C08J 7/12
, C08J 7/00 302
, C08J 7/00 304
, C08J 7/00 306
FI (4件):
C08J 7/12 Z
, C08J 7/00 302
, C08J 7/00 304
, C08J 7/00 306
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