特許

J-GLOBAL ID：200903082337490184

基板処理装置の基板搬送制御装置

発明者： 平尾 孝広
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-004942
公開番号（公開出願番号）：特開平5-190529
出願日： 1992年01月14日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】 基板処理装置において一時停止指令がなされた場合に、簡単な構成により基板にとってダメージの少ない待避位置に待避させる。【構成】 この基板搬送制御装置は、複数の処理槽を有する基板処理装置に設けられた基板搬送ロボットの作動を制御する装置であり、操作パネル13と、検出手段と、制御手段20とを備えている。操作パネル13は、基板搬送の一時停止を指示するためのボタンを有している。検出手段は、一時停止指示がなされたことを検出する。制御部20は、検出手段の一時停止検出結果により、基板処理装置1内の基板が予め設定された水洗槽等の待避位置に待避させられて一時停止するよう基板搬送ロボットを制御する。

請求項（抜粋）：

複数の処理槽を有する基板処理装置の各処理槽間で基板を搬送する基板搬送装置の作動を制御する基板搬送制御装置であって、基板搬送の一時停止を指示するための指示手段と、前記指示手段により一時停止指示がなされたことを検出する検出手段と、前記検出手段の一時停止検出結果により、前記基板処理装置内の基板が予め設定された待避位置に待避させられて一時停止するよう前記基板搬送装置を制御する制御手段と、を備えた基板処理装置の基板搬送制御装置。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-028702
  
• 特開昭64-071134
  
• 特開平3-253031