特許

J-GLOBAL ID：200903082349224668

形状計測装置

発明者： 河合 正治 ,  三好 勝也 ,  馬場 真佐美
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-138479
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332731
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：

【要約】【構成】 被計測物の保持台(1)、保持台の回転治具(2)、保持台回転軸の変更治具(3)、保持台位置の変更治具(4)とレーザー計測部(5)により構成されることを特徴とする形状計測装置。【効果】 この装置による計測では上面及び側面の2面だけの計測で高精度の形状データが短時間で得られる。また、装置構成が簡略なので安価で作製できる。更に、小型化できるので、歯牙のように小さい被計測物の測定にも適している。

請求項（抜粋）：

被計測物の保持台、保持台の回転治具、保持台回転軸の変更治具、保持台位置の変更治具とレーザー計測部により構成されることを特徴とする形状計測装置。