タッチ信号プローブ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-032794
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288502
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】構造が簡易であり、方向依存性がないタッチ信号プローブを提供することを提供すること。【解決手段】スタイラス1は変形検出素子(圧電素子)21〜24を支持固定するための検出素子支持部1Cを有し、この検出素子支持部1Cはスタイラス1の軸と直交する断面が正多角形とされる正多角形体である。この正多角形体の各側面に変形検出素子21〜24をそれぞれ取り付け、これらの変形検出素子21〜24から出力される信号に対し和、差及び自乗和等の演算処理を行い、演算処理の結果に基づいて接触検知信号を発生する。変形検出素子21〜24から出力される信号の和を演算してスタイラス軸方向に作用する歪成分を抽出し、変形検出素子21〜24から出力される信号の差を演算してスタイラス軸に作用する曲げ歪成分を抽出する。

請求項（抜粋）：

先端に被測定物と接触する接触部を有する略柱状のスタイラスに、前記接触部が被測定物に接触したことを検出する変形検出素子を配置したタッチ信号プローブにおいて、前記スタイラスは、前記変形検出素子を支持固定するための検出素子支持部を有し、この検出素子支持部は前記スタイラスの軸と直交する断面が正多角形とされる正多角形体であり、この正多角形体の各側面のうち少なくとも2面に前記変形検出素子をそれぞれ取り付け、これらの変形検出素子から出力される信号に対し演算処理を行い、演算処理の結果に基づいて接触検知信号を発生することを特徴とするタッチ信号プローブ。

IPC (3件)：

G01B 7/00 , G01B 21/00 , H01L 41/08

FI (3件)：

G01B 7/00 S , G01B 21/00 B , H01L 41/08 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-033301
特開昭61-045902

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