特許

J-GLOBAL ID：200903082358569937

流体の密度測定装置および半導体製造装置

発明者： 鈴木 智 ,  当麻 信明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 大日方 富雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-045774
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253373
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 大気圧から高真空までの幅の広い圧力変化を測定することができる流体の密度測定装置を提供する。【構成】 圧力測定装置10は、該検出器15によって検出された光量が一定値となるように、検出器位置調整機構31によって光量検出器15が移動し、当該移動量に基いて演算制御装置21が試料室12内の圧力を演算する。又、圧力測定装置10では、レーザ光の焦点位置が、検出器15の可動範囲を越えたときには、最大の移動量に基いて圧力を算出しておき、これを当該可動範囲内で検出される光量の最大値と焦点位置での光量との差に基いて修正するように構成されている。

請求項（抜粋）：

流体が導入される試料室と、該試料室内に測定光を照射する光源と、上記試料室内に設置され、該試料室内を通過する測定光を集束させるレンズと、上記集束された測定光の光量を検出する光量検出器と、該光量検出器によって検出された光量に基いて上記試料室内の流体の密度を演算する演算手段とを具えてなることを特徴とする流体の密度測定装置。

IPC (4件)：

G01L 11/00 ,  G01N 9/24 ,  G01N 21/41 ,  H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平1-112138
  
• 特開平3-194448
  
• 特開平4-168308
  
• 特開平3-015739
  
• 特開昭62-201334