特許

J-GLOBAL ID：200903082368618715

センサの測定用アパーチャーよりも大きなターゲットの評価に用いる装置及び方法

発明者： ダニエル・アール・ニール ,  ロン・アール・ラメージ ,  ダレル・ジェイ・アームストロング ,  ウィリアム・ティ・ターナー ,  ジャスティン・ディ・マンセル
出願人/特許権者： ウェーブフロント・サイエンシーズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-508019
公開番号（公開出願番号）：特表2003-503726
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2003年01月28日
要約：

【要約】被測定物の大きさよりも小さなアパーチャーを有するシャック-ハルトマンの波面センサであって、物体全体の波面を測定するのに使用される。物体の多数のサブ領域での波面を測定できるように、波面センサと物体とが互いに並進移動可能である。次いで、測定された波面は互いに縫い合わされ物体の波面が形成される。サブ領域は、少なくとも一次元においてオーバーラップする。波面センサを較正するのに基準表面を用いることができる。

請求項（抜粋）：

多数のサブ領域を有するターゲットからの波面の再構成方法であって、 a)サブ領域に照射する工程と、 b)サブ領域からの光をスポット発生器に配達する工程と、 c)上記スポット発生器からの焦点の位置を検出する工程と、 d)検出した焦点の位置に基いてサブ領域からの波面を決定する工程と、 e)すべてのサブ領域の測定が終了するまで、工程a)からd)を繰返す工程と、 f)工程d)で決定した波面を縫い合わせて、ターゲットからの波面を再構成する工程と、から成るターゲットからの波面の再構成方法。

IPC (5件)：

G01N 21/956 ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/958 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01N 21/956 A ,  G01J 9/00 ,  G01M 11/00 M ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/958 ,  H01L 21/66 P

Fターム (22件)：

2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051DA07 ,  2G051EC03 ,  2G051EC04 ,  2G086EE10 ,  2G086GG04 ,  4M106AA01 ,  4M106CA24 ,  4M106CA50 ,  4M106DH11 ,  4M106DH12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平4-504762
  
• 特開平3-225259