特許
J-GLOBAL ID：200903082375747520
非接触変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062303
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261730
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 レーザ光の利用効率を低下させることなく、レーザ光源数を増やすことなく、簡単な構成のもとに広い範囲にわたって均一な強度のレーザ光を被測定試料に照射することができ、安価で広い測定範囲を持つ高性能の非接触変位計を提供する。【構成】 レーザ光を広げるための光学系2と被測定試料Wとの間に、光学系2を経たレーザ光が持つ空間強度分布と逆の空間的な光透過率分布を持つ減光フィルタ5を介在させることで、被測定試料Wに向かうレーザ光を一様な強度分布を持つものとし、被測定試料Wからの散乱光を受光するイメージセンサ3の出力を、全チャンネルにわたり充分なコントラストのもとにスペックルパターンを表す信号とする。
請求項（抜粋）：
レーザ光源からの出力光を所定の広がりを持たせた状態で被測定試料の表面に照射するための光学系と、そのレーザ光の被測定試料表面からの散乱光を受光するイメージセンサと、そのイメージセンサからの出力を用いて、散乱光に含まれるスペックルパターンの刻々の移動量を算出することにより被測定試料の変位情報を得る演算手段を備えた変位計において、上記光学系と被測定試料表面との間に、当該光学系を経た光の空間強度分布と逆の空間的な光透過率分布を持つ減光フィルタが設けられていることを特徴とする非接触変位計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/16 G
, G01B 11/00 G
