密着露光装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085932
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275862
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】パターン板の接触面と被露光板の被露光面とが完全に密着するまでの密着時間を短縮化し、生産効率を向上させることが可能な密着露光装置を提供する。【解決手段】パターン板1A,1Bをその周辺部で保持するパターン枠2A,2B同士の最接近時の間隔がスペーサ機構6によって所定の間隔に規制された状態で、密閉空間Mが減圧されると、密閉空間M内とその外部空間との圧力差による力によって、パターン板1A,1Bはその中央部に行くにしたがって密閉空間M側に凹んだ状態となり、密閉空間Mが減圧されていくにつれて、概ねパターン板1A,1Bの中央部付近から周辺部の順に、パターン板1A,1Bの接触面1a,1bが帯状金属薄板W(被露光板)の被露光面Wa,Wbに密着されていく。

請求項（抜粋）：

所定の画像パターンが形成されたパターン板の一方面を被露光板の被露光面に密着させた状態で、パターン板の他方面側に設けられた光源から光を照射することにより、被露光板の被露光面に上記所定の画像パターンを露光する密着露光装置において、光源からの光を被露光板の被露光面に通過させるための開口部を有し、この開口部を覆うようにパターン板がその周辺部で保持されたパターン枠と、被露光板の被露光面とは反対の面側において、パターン枠に対向して設けられた対向部材と、パターン枠と対向部材とが接近した際に、パターン板およびパターン枠と対向部材とで囲まれる空間を密閉するために、対向部材とパターン枠との間に設けられたシール部材と、このシール部材によって密閉された上記空間の内部を減圧する減圧手段と、パターン枠と対向部材との最接近時の間隔を所定の間隔に規制する間隔規制手段と、を備えることを特徴とする密着露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 , H01J 9/14

FI (2件)：

G03F 7/20 501 , H01J 9/14 H

Fターム (5件)：

2H097GA17 , 2H097GA24 , 2H097GA27 , 2H097LA20 , 5C027HH09

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