特許
J-GLOBAL ID：200903082394527590
レーザ加工装置及びレーザ加工装置の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-049460
公開番号（公開出願番号）：特開2008-212941
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】本発明はワークとレーザ加工ヘッド部との距離調整を高精度且つリアルタイムで行なうことを課題とする。【解決手段】レーザ加工装置10は、ワーク20が載置されるXYテーブル30と、XYテーブル30上に複数の垂直方向駆動用の圧電素子40が並設され、複数の圧電素子40の上端がワーク20の下面に当接してワーク20の高さ位置を微調整する高さ微調整部50と、ワーク20の加工面に対して上方からレーザ光を照射するレーザ加工ヘッド部60と、XYテーブル30を水平方向(XY方向)に移動させるXYテーブル駆動部70と、レーザ加工ヘッド部60とワーク20の加工面との距離を測定するハイトセンサ80と、ハイトセンサ80により測定された距離データに基づいて圧電素子40を選択的に駆動してレーザ加工ヘッド部60とワーク20の加工面との距離がレーザ加工ヘッド部60の焦点距離または結像距離と一致するように制御する制御装置90とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
平板状の被加工物が載置されるテーブルと、
該テーブル上に複数の垂直方向駆動用のアクチュエータが並設され、前記複数のアクチュエータが前記被加工物の下面に当接して前記被加工物の高さ位置を微調整する高さ微調整部と、
前記被加工物の加工面に対して上方からレーザ光を照射するレーザ加工ヘッド部と、
前記テーブルまたは前記レーザ加工ヘッド部を水平方向に移動させる移動手段と、
前記レーザ加工ヘッド部と前記被加工物との距離を測定する距離センサと、
前記距離センサにより測定された距離データに基づいて少なくとも前記レーザ加工ヘッド部とレーザ光が照射される前記被加工物の加工面との距離が予め設定された設定距離と一致するように前記高さ微調整部の前記アクチュエータを個別に制御するアクチュエータ制御手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
4E068CA11
, 4E068CA12
, 4E068CB02
, 4E068CB05
, 4E068CC06
, 4E068CE05
, 4E068CE09
