特許

J-GLOBAL ID：200903082397418881

テストヘッドの冷却構造

発明者： 鈴木 信哉 ,  新間 浩二
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
代理人 (1件)： 齊藤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-357281
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186002
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 ICテスタのテストヘッドを水等の冷媒を用いて液冷する冷却構造において、小型化され、しかもメインテナンスが容易なテストヘッドの冷却構造を提供する。【解決手段】冷却パイプ101とサブマニホルド102から構成されたコールドプレート1A、1Bが、プリント基板2の両面2A、2Bに固定され、分配用マニホルド12と集合用マニホルド14が、テストヘッド10内の片側にそれぞれ配置されている。コールドプレート1A、1Bが、分配用マニホルド12と集合用マニホルド14にそれぞれ着脱自在に接続され、個々のIC201に応じた液冷部品60が、各冷却パイプ101に取り付けられ、液冷部品60を介して各冷却パイプ101がIC201に接合されている。

請求項（抜粋）：

IC(201)を装着したプリント基板(2)が実装されているテストヘッド(10)を液冷するテストヘッドの冷却構造において、前記プリント基板(2)の両面(2A、2B)には、冷媒を循環させる複数の冷却パイプ(101)と、冷却パイプ(101)と一体的に形成されたサブマニホルド(102)から構成され、互いに連通したコールドプレート(1A、1B)が固定されていると共に、テストヘッド(10)内の片側には、分配用マニホルド(12)と集合用マニホルド(14)がそれぞれ配置され、コールドプレート(1A)が分配用マニホルド(12)に、コールドプレート(1B)が集合用マニホルド(14)にそれぞれ着脱自在に接続され、各冷却パイプ(101)には、個々のIC(201)に応じた液冷部品(60)が取り付けられ、液冷部品(60)を介して各冷却パイプ(101)がIC(201)に接合されていることを特徴とするテストヘッドの冷却構造。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  F25D 1/02 ,  G01R 31/26 ,  H01L 23/473

FI (4件)：

G01R 31/28 H ,  F25D 1/02 B ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 23/46 Z