マスク洗浄機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045120
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241329
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】レチクル洗浄機における洗浄歩留の改善と洗浄時間の短縮。【構成】レチクル上の異物を検査する検査室3と異物分析処理部4と洗浄パラメータシーケンス自動設定部5と備え、異物情報により洗浄シーケンス及び洗浄パラメータの最適化を自動的に行なう機能を有する。

請求項（抜粋）：

マスクの洗浄において、洗浄前のマスク異物付着状態を解析し、マスクの洗浄シーケンスおよび洗浄パタメータの最適化を行う機能を有するマスク洗浄機。

IPC (3件)：

G03F 1/08 , B08B 3/02 , H01L 21/304 341

引用特許：

審査官引用 (3件)

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