特許
J-GLOBAL ID：200903082401410769
XPS定量分析法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245498
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110313
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【構成】 バックグラウンド31除去した主ピーク32及びSUSピーク33を積分してピーク強度INi、Iiを求め、このピーク強度INi、Iiを試料を構成するNi等の元素の原子軌道別に設定した強度係数αNi(=0.6)、αiで補正した感度係数SNi、Siで除してNi元素等の組成Caを求めるXPS定量分析法。【効果】 テール部のピーク強度もピーク強度INi、Iiに含めることができるため、標準試料に関する分析値との対比・補正を必要とすることなく、固体試料を構成するNiをはじめ多種類の元素を簡単、かつ確実に定量することができる。
請求項（抜粋）：
下記の数1を用いて元素aの組成Caを求めるXPS定量分析法であって、直線法によりバックグラウンド除去した主ピーク、または主ピーク及びシェイクアップサテライトピークを積分してピーク強度Ia、Iiを求め、該ピーク強度Ia、Iiを試料を構成する元素の原子軌道別に設定した強度係数αa 、αi で補正した感度係数Sa、Siで除して元素aの組成Caを求めることを特徴とするXPS定量分析法。【数1】
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