プラズマ処理装置用窓部材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-018839
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214194
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】従来の石英やサファイアなどのプラズマ処理装置用窓部材では、プラズマに対する耐腐食性が十分でなく、耐久性に劣るものであった。【解決手段】プラズマ処理装置の壁体の一部に設けられ、一方の表面がプラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材を、厚さ0.5〜10.0mmの透光性イットリウム-アルミニウム-ガーネット焼結体により構成するか、あるいは透光性を有する基板の少なくともプラズマに曝される表面に、厚さ0.1〜10.0mmの透光性イットリウム-アルミニウム-ガーネット焼結体を接合した構造体によって形成する。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置の壁体の一部に設けられ、一方の表面がプラズマに直接曝される窓部材であって、該窓部材が、厚さ0.5〜10.0mmの透光性イットリウム-アルミニウム-ガーネット焼結体からなることを特徴とするプラズマ処理装置用窓部材。

IPC (6件)：

H05H 1/02 , C23C 14/52 , H05H 1/24 , H01L 21/02 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (6件)：

H05H 1/02 , C23C 14/52 , H05H 1/24 , H01L 21/02 Z , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

金属蒸気放電灯用発光管
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-115625 出願人：京セラ株式会社
低誘電損失体
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-133557 出願人：京セラ株式会社
特開平3-275561

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