特許

J-GLOBAL ID：200903082411371125

静電吸着装置及び方法

発明者： 伊藤 陽一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215575
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078512
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】プラズマにより処理されるウエハを支持する静電吸着装置及び方法において、ウエハが除電されたことを確実に検出して信頼性よくウエハを搬送できる静電吸着装置及び方法を提供することにある。【構成】アルミ製電極10上にアルミナ絶縁膜11を設けて静電吸着電極12を構成し、さらに、静電吸着電極12に負電圧印加、正電圧印加が切り換え可能な直流電源13と、ウエハ1裏面にHeガス19を導入した際のウエハ1裏面のガス圧力を逐次検出する圧力計20,圧力計20により検出された圧力を設定値21と比較する比較器22を設ける。そして、ウエハ1解放時に吸着時と逆極性の電圧を印加した際にウエハ1裏面のガス圧力が設定値21と等しくなった時点すなわち比較器22の出力が0Vになった時点でウエハ1の除電を終了する。

請求項（抜粋）：

プラズマによりエッチング処理されるウエハを絶縁膜との間に発生させた静電吸着力により支持する静電吸着装置において、絶縁膜に負電圧印加,正電圧印加が切り換え可能な直流電源と、ウエハ裏面にガスを導入する手段と、ウエハ裏面のガス圧力を検出する圧力計と、検出した圧力と設定値を比較する比較器を設けたことを特徴とする静電吸着装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハ離脱方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-231664   出願人：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
• 特開平2-069956