特許

J-GLOBAL ID：200903082413201871

ダイシング用テープ

発明者： 伊藤 一義 ,  一丸 剛
出願人/特許権者： 株式会社富士通宮城エレクトロニクス
代理人 (1件)： 青木 朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-220227
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069335
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 本発明は半導体ウェハ等のダイシング工程に用いられるダイシング用テープに関し、ダイヤモンドブレードの切り込み深さ管理を容易にするダイシング用テープを実現することを目的とする。【構成】 半導体ウェハなどの被加工物をダイヤモンドブレードで切断するときに、該被加工物を粘着して保持する粘着テープであって、上記粘着テープ10の基材フィルム部11を、それぞれ異なる色で着色した層で多層化し、被加工物切断時に粘着テープへの切り込み深さを色によって認識できるように構成する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハなどの被加工物をダイヤモンドブレードで切断するときに、該被加工物を粘着して保持する粘着テープであって、上記粘着テープ(10)の基材フィルム部(11)を、それぞれ異なる色で着色した層で多層化し、被加工物切断時に粘着テープへの切り込み深さを色によって認識できることを特徴とするダイシング用テープ。