特許

J-GLOBAL ID：200903082415124122

流体軸受装置

発明者： 中村 哲夫 ,  稲垣 章 ,  武富 尚之
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 実三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-254630
公開番号（公開出願番号）：特開平5-065920
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 負荷変動に対してもクリアランス変化のない高剛性化および振動に対する減衰特性の向上が可能な流体軸受装置を提供する。【構成】 圧力油を可変絞り54の絞り隙間を通して軸受リセス5に供給し、軌道台2と可動台3との隙間に噴出させるとともに、これによって生じる軌道台2と可動台3との間のクリアランスH1 を非接触変位計60Bによって検出し、そのクリアランスH1 と設定値H0 との偏差がなくなるように可変絞り54の絞り隙間を変化させる。これにより、クリアランスH1 が設定値H0 になるように制御されるから、負荷変動に対してもクリアランスHを常に一定に維持させることができ、かつ、振動に対する減衰特性も向上させることができる。

請求項（抜粋）：

相対移動する二部材のうち一方の部材に前記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相対移動する二部材のうち他方の部材に前記案内面に開口して設けられた軸受リセスと、この軸受リセスに圧力流体を供給する流体供給口の近傍に設けられた可変絞りと、前記一方の部材の案内面と他方の部材とのクリアランスを検出する変位計と、この変位計の出力が一定になるように前記可変絞りの絞り隙間を変化させる制御手段と、を具備したことを特徴とする流体軸受装置。