特許
J-GLOBAL ID：200903082416891399
透明基板の位置合わせ方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166001
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014831
出願日： 1994年06月24日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせマークの画像状態に応じて常に正しいマーク形状が抽出できる2値レベルが選定可能な透明基板の位置合わせ方法を提供することを目的としている。【構成】 撮像部12で撮像したアライメントマーク24のビデオ信号をA/Dコンバータ15とD/Aコンバータ31とCPU17とで正規化した多値のデジタル画像データに変換し、このデジタルデータに基づいて濃度ヒストグラムを作成する。濃度ヒストグラムの輝度の高い方からマーク面積分の画素を累積して粗2値レベルを選定し、この粗2値レベルを中心として±Δdの範囲で双峰性による2値レベルを選定する。この2値レベルに基づいて画像データを2値化し、特徴を抽出して一対のガラス基板22、23のアライメントマーク24の位置を把握し、位置合わせする。
請求項（抜粋）：
それぞれ位置合わせマークが付された一対の透明基板を所定の位置関係で重ね合わせて、該一対の透明基板同士を位置合わせする透明基板の位置合わせ方法において、前記一対の透明基板に付された前記位置合わせマークの画像を画像信号に変換する画像信号変換工程と、前記画像信号を輝度レベル順に出現頻度をとった濃度分布表を作成する濃度分布表作成工程と、前記濃度分布表における前記画像信号を2値化するための粗2値レベルを設定する第1の2値レベル設定工程と、前記粗2値レベルを中心として所定の検索輝度レベル範囲内で輝度変化が最も急峻な境界位置の2値レベルを設定する第2の2値レベル設定工程と、前記第2の2値レベルに基づいて前記画像信号を2値化して位置合わせマークの形状を認識するマーク形状認識工程と、その認識した形状から前記一対の透明基板の位置ずれ量を把握して、少なくとも一方の透明基板を移動させて位置合わせする位置合わせ工程と、を有することを特徴とする透明基板の位置合わせ方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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