特許

J-GLOBAL ID：200903082419914241

洗浄乾燥方法および装置

発明者： 唐木 和久 ,  小尾 邦寿
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043432
公開番号（公開出願番号）：特開平9-234439
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 洗浄、乾燥を単一の装置で行う。【解決手段】 相互に相溶し、かつ沸点の異なる第1、第2の溶剤を用いて洗浄及び乾燥する。第1の溶剤を加熱する加熱手段2と、第2の溶剤を被洗浄物に吹き付けるノズル6と、蒸気化した第2の溶剤を冷却して回収する回収手段5、12、7とにより洗浄槽1とし、第2の溶剤を貯溜するタンク7を洗浄槽1に連結し、ポンプ8によって第2の溶剤を被洗浄物11に吹き付ける。第1の溶剤を第2の溶剤の沸点に加熱した状態で洗浄し、被洗浄物の吹き付けた第2の溶剤を第1の溶剤で蒸発させ、被洗浄物を第2の溶剤の蒸気によって乾燥する。

請求項（抜粋）：

相互に相溶し、かつ沸点の異なる第1、第2の溶剤を用い、第2の溶剤の沸点まで加熱した第1の溶剤により被洗浄物を洗浄した後、被洗浄物を第1の溶剤から引き上げ、この引き上げ状態で第2の溶剤を吹き付けてリンスすると共に、第1の溶剤で加熱されて蒸気化した第2の溶剤の蒸気により蒸気乾燥することを特徴とする洗浄乾燥方法。