特許
J-GLOBAL ID：200903082433058889
バンプ高さ測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136567
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327327
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】ハンダバンプのように上端面が比較的滑らかなバンプの高さを高速、高精度に測定できるバンプ高さ測定方法及び装置を提供する。【構成】バンプ54が形成されているワークWを被測定対象として該ワークWをスペクトル幅の広い光を照射する光源12を用いた光干渉計のもとにおき、バンプの高さ方向の測定する基準位置を基準として、バンプ54の上端面が存在すると推定されるバンプ推定位置付近に前記光干渉計の可干渉範囲がくるように前記ワークW又は参照面18を可変機構(20,32)で光軸方向に移動する。そして、その状態で得られる位相の異なる干渉縞パターンを撮像手段26で少なくとも三画面以上撮像して、その画像データを基に前記バンプ54に対応する一定の画素領域について干渉縞強度の平均値を算出する。その平均値が所定のしきい値より大きければ、バンプ54の上端面は、先に設定したバンプ推定位置の近傍の一定の範囲内にあると判別し、所定のしきい値以下であれば、先に設定したバンプ推定位置の近傍の一定範囲の外であると判別することにより、バンプ高さの測定を行う。
請求項（抜粋）：
被測定対象面及び参照面にスペクトル幅の広い光を照射する光源と、前記被測定対象面を経由する光路と前記参照面を経由する光路の光路長差が0になる付近で干渉縞の強度が強く現れ、前記光路長差が大きくなるに従って干渉縞の強度が減少するような干渉縞を発生させる干渉光学系と、前記被測定対象面又は前記参照面の少なくとも一方を光軸方向に移動して前記光路長差を変化させる可変機構と、前記光路長差に応じて発生する干渉縞パターンを撮像する撮像手段と、を備えた光干渉計を使用して、被測定対象面に形成されたバンプの高さを測定するバンプ測定方法において、被測定対象面に形成されたバンプの高さを測定する際に基準となる高さ方向の位置を測定基準位置とし、前記光干渉計について前記光路長差が0になる付近で干渉縞の強度が強く現れるときの光路長差の範囲を可干渉範囲とすると、前記測定基準位置を基準として、前記被測定対象面に形成されたバンプの上端面が存在すると推定されるバンプ推定位置付近に前記光干渉計の可干渉範囲がくるように前記可変機構で設定し、その設定状態で前記可変機構により前記光路長差を微少に変化させながら、位相の異なる干渉縞パターンを前記撮像手段で少なくとも三画面以上撮像し、前記撮像手段で得られた少なくとも三画面以上の画像データを基に画素毎に干渉縞強度を算出し、画面内でバンプが存在している領域に対応する一定の画素領域について前記干渉縞強度の平均値を算出し、前記平均値と該バンプの上端面が前記可干渉範囲内の所定の許容範囲内にあることを示す所定のしきい値とを比較し、前記平均値が前記所定のしきい値よりも大きい場合は、測定対象としているバンプの高さが、前記バンプ推定位置近傍の前記所定の許容範囲に対応する一定の範囲内にあると判別し、前記平均値が前記所定のしきい値以下の場合は、測定対象としているバンプの高さが、前記バンプ推定位置近傍の前記一定の範囲の外にあると判別することを特徴とするバンプ高さ測定方法。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G01B 9/02
, G06T 7/00
G01B 11/02 G
, G01B 9/02
, G06F 15/62 405 A
