特許
J-GLOBAL ID：200903082433877979
複合型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170017
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022512
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：
【要約】【目的】 MR素子を熱的に劣化させることなく高記録磁界密度を達成し、当該複合型薄膜磁気ヘッドが摺動型である場合に下部磁気コア及び上部磁気コアに発生しがちな偏摩耗を緩和して、信頼性の高い複合型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法を提供する。【構成】 複合型薄膜磁気ヘッドを、ベース基板1上に作製されたインダクティブヘッド部P上にMRヘッド部Qを積層形成して構成する。この場合、ベース基板1上に成膜された絶縁層2の上面に溝部2aを形成し、この溝部2aが存することにより下部磁気コア3に形成される凹部3a上に第1の平坦化層23を介して導体コイル4を埋設形成する。
請求項（抜粋）：
非磁性材料よりなる基板上に、上面に凹部を有する軟磁性材料よりなる下部磁気コアと、当該下部磁気コアに形成された凹部上に絶縁材料よりなる平坦化層を介して埋設形成されてなるスパイラル状の導体コイルと、当該導体コイル上に絶縁材料よりなる平坦化層を介して積層された軟磁性材料よりなる上部磁気コアとを有する誘導型磁気ヘッド部を備えるとともに、下部磁性層を兼ねた前記上部磁気コア上に絶縁層を介して形成されてなる磁気抵抗効果素子と、当該磁気抵抗効果素子上に絶縁層を介して積層されてなる上部磁性層とを有する磁気抵抗効果型磁気ヘッド部を備えることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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