特許

J-GLOBAL ID：200903082448265465

導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法

発明者： 仙波 卓弥
出願人/特許権者： 日機装株式会社
代理人 (1件)： 浜田 治雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-091839
公開番号（公開出願番号）：特開平8-257912
出願日： 1995年03月25日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】【目的】 弾性を有する樹脂マトリックス砥石を使用して研磨作業中に砥石のドレッシング(再生)を行うことができると共に、酸化等による不導体膜を形成することなく、また抵抗による発熱および膨脹をも生じることなく、電気泳動による目詰まりを防止して研磨性能の継続性を保持することができる導電性および弾性を有する砥石およびそれを使用した電気泳動研磨方法を提供する。【構成】 砥粒と導電性樹脂マトリックスとから導電性および弾性を有する電気泳動式インプロセスドレッシング用砥石を形成する。また、砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維を含有する樹脂マトリックスとから導電性および弾性を有する砥石を形成する。そして、前記砥石に所要電圧を印加し、この砥石を前記電圧とは逆電位に帯電した第2の砥粒を分散してなる液中において、研磨対象物を研磨すると同時に砥石の再生を行う電気泳動式インプロセスドレッシングを行う。

請求項（抜粋）：

砥粒と導電性樹脂マトリックスとからなる導電性および弾性を有する電気泳動式インプロセスドレッシング用砥石。

IPC (5件)：

B24B 53/00 ,  B23H 5/00 ,  B24B 1/00 ,  B24D 3/02 310 ,  B24D 3/34

FI (5件)：

B24B 53/00 D ,  B23H 5/00 J ,  B24B 1/00 Z ,  B24D 3/02 310 E ,  B24D 3/34 A