特許
J-GLOBAL ID：200903082453451447
超音波振動子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-358404
公開番号（公開出願番号）：特開平5-184172
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 低電圧駆動可能で、かつ振動子の共振を使用しない2次元動作可能なアクチュエータを構成可能にする。【構成】 突起部6をもつステンレス鋼等の弾性体7と下台8との間に、PZT等の4本の積層圧電素子9a〜9dを接着等の方法で固定する。制御装置は、発振器の出力を、可変位相の移相器で位相の異なる4波形に分ける。そして、可変ゲインの増幅器を経て、振幅・位相の異なる4出力を得る。4出力を4本の積層圧電素子9a〜9dに印加する。
請求項（抜粋）：
突起部をもつ弾性体と、この弾性体に一端を接合した3個以上の積層圧電素子と、この積層圧電素子の他端に接合した下台とを具備したことを特徴とする超音波振動子。
IPC (3件)：
H02N 2/00
, H01L 41/09
, G01B 7/34
