特許

J-GLOBAL ID：200903082453666907

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅 ,  佐藤 健一郎 ,  青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170197
公開番号（公開出願番号）：特開2000-047385
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、残膜率、レジストプロファイルが優れるとともに、現像欠陥の問題が生ぜず、しかも半導体製造プロセス上安定性の優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)分子量が1000以下のカルボン酸無水物、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物が提供される。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)分子量が1000以下のカルボン酸無水物、(D)含窒素塩基性化合物、並びに(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (17件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-352621   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-226175   出願人：日本合成ゴム株式会社
• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-261054   出願人：日本ゼオン株式会社
• 遠紫外線露光用フォトレジスト組成物およびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-128606   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-312670   出願人：日本ゼオン株式会社