感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-048016
公開番号（公開出願番号）：特開2002-251007
出願日： 2001年02月23日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】乾燥後の余熱、露光による温度上昇等の影響による加温時の感光性樹脂乾燥膜のタックフリー性を維持でき、マスクパターンの密着露光が可能で、高感度、高密着性、高解像性で安定な、感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】少なくとも(A)カルボキシル基を有する共重合樹脂と、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られる、側鎖に末端エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する変性共重合樹脂、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤からなることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。

請求項（抜粋）：

少なくとも(A)カルボキシル基を有する共重合樹脂と、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られる、側鎖に末端エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有する変性共重合樹脂、(B)下記一般式(1)で表される化合物を構造単位で含み、分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (8件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , C08F 2/50 , C08F 8/00 , C08F290/12 , G03F 7/028 , G03F 7/038 501 , H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/027 515 , C08F 2/50 , C08F 8/00 , C08F290/12 , G03F 7/028 , G03F 7/038 501 , H01L 21/30 502 R

Fターム (62件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA14 , 2H025AB03 , 2H025AB06 , 2H025AB13 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC14 , 2H025BC42 , 2H025BC53 , 2H025BC85 , 2H025CA01 , 2H025CA26 , 2H025CA27 , 2H025CA28 , 2H025CA39 , 2H025CA48 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J011QA21 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QB03 , 4J011SA25 , 4J011SA34 , 4J011SA61 , 4J011SA62 , 4J011SA64 , 4J011SA76 , 4J011SA78 , 4J011SA84 , 4J011SA87 , 4J011UA01 , 4J011VA01 , 4J011WA01 , 4J027AA02 , 4J027BA23 , 4J027BA25 , 4J027BA28 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 4J100AJ02P , 4J100AL02Q , 4J100AL03Q , 4J100AL66P , 4J100BA03H , 4J100BA03P , 4J100BC04H , 4J100BC43P , 4J100CA04 , 4J100CA31 , 4J100HA19 , 4J100HA62 , 4J100HC39 , 4J100JA38

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