特許
J-GLOBAL ID：200903082454151617
分光素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂本 徹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-330670
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160195
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 SOR光照射時の局部的な変形を可及的抑制するとともに、製造性が顕著に改善された分光素子を提供する。【構成】 外表面である上面2aと平行な複数の冷却水流路2dが内蔵された銅製のホルダ4と,ホルダ4の上面2aにシリコンスパッタリング層として形成された分光結晶層12とからなる分光素子1。分光結晶層12へのSOR光照射時には冷却水流路2d内に冷却水を流して分光結晶層12を裏面側から水冷することができるとともに、加工性の悪いシリコンに対してはスパッタリングを行うだけで他の加工を行わないため分光素子1の加工性が大巾に改善される。
請求項（抜粋）：
外表面と平行な1本または複数本の冷却液体流路が内蔵された熱伝導性の良好な金属からなるホルダと,当該ホルダの前記外表面の少なくとも一部に成膜された分光結晶層とを組み合わせて備えることを特徴とする分光素子。
IPC (2件)：
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