特許
J-GLOBAL ID：200903082456418491
製品の品質管理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-206760
公開番号（公開出願番号）：特開平10-049585
出願日： 1996年08月06日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 製造装置の特性データをロット情報と同じように取り扱えることにより、精度良くかつ短時間で不良発生原因等のデータ解析を行えるようにする。【解決手段】 製造装置を用いた処理によりロット単位で製造される製品の品質を管理する方法であって、製品のロット単位での特性を表すロット情報(PQCデータ、検査データ)と、製造装置で処理された日時の情報を表すロット履歴とをロット毎に集めるとともに、製造装置の特性を測定することにより、この測定結果と測定日時とを製造装置の特性データ(EQCデータ)として求め、ロット履歴を基にロットが製造装置で処理された日時順にPQCデータ、検査データを並べるとともに、EQCデータをこのデータの測定日時順に並べて、PQCデータ、検査データとEQCデータとを日時で関連付け、関連付けられたPQCデータ、検査データ、EQCデータとを比較することにより製品の品質を管理する。
請求項（抜粋）：
製造装置を用いた処理によりロット単位で製造される製品の品質を管理する方法であって、製品のロット単位での特性を表すロット情報と、前記製造装置で処理された日時の情報を表すロット履歴とをロット毎に集めるとともに、前記製造装置の特性を測定することにより、この測定結果と測定日時とを前記製造装置の特性データとして求める第1工程と、前記ロット履歴を基にロットが前記製造装置で処理された日時順にロット情報を並べるとともに、前記製造装置の特性データを該特性データの測定日時順に並べて、前記ロット情報と前記製造装置の特性データとを日時で関連付ける第2工程と、関連付けられたロット情報と製造装置の特性データとを比較することにより製品の品質を管理する第3工程とを有することを特徴とする製品の品質管理方法。
IPC (4件)：
G06F 17/60
, B23Q 41/00
, H01L 21/02
, H01L 21/66
G06F 15/21 R
, B23Q 41/00 E
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 Z
