特許
J-GLOBAL ID：200903082471176844
印刷用マスク材及び該印刷用マスク材を用いた印刷用マスクの作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263252
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094848
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：
【要約】【課題】 印刷用マスク材に貼付されたラミネートフィルムを極力薄くすることができる印刷用マスク材及びこの印刷用マスク材を用いた印刷用マスクの作製方法を提供すること。【解決手段】 少なくとも、印刷用マスク材10の基材であるプラスチック板11のレーザービームの非照射面に、厚さの薄いラミネートフィルム12を複数枚積層して形成された積層フィルム13を粘着剤14により貼付し、レーザービーム加工に先立って、該プラスチック板11に貼付された積層フィルム13のうちの、不要となる外層のラミネートフィルム12を所定枚数だけ剥ぎ取る。これにより、該プラスチック板11に貼付されたラミネートフィルム12の厚みを極めて薄く形成することができるので、レーザービームを照射して上記印刷用マスク材10に貫通開口部を形成する際の加工を容易化できる。また、上記加工後に上記ラミネートフィルム12を1枚ずつ順に剥離除去することにより、該剥離除去による印刷用マスク26のダメージを回避できる。
請求項（抜粋）：
印刷用マスク材に、厚さの薄いフィルムを複数枚積層して形成された積層フィルムからなるラミネートフィルムが貼付されていることを特徴とする印刷用マスク材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2H084AA14
, 2H084AA32
, 2H084AE05
, 2H084BB04
, 2H084CC10
, 2H114AB09
, 2H114AB17
, 2H114BA02
, 2H114DA47
, 2H114DA49
, 2H114DA51
, 2H114DA55
, 2H114DA56
, 2H114DA57
, 2H114DA62
, 2H114DA73
, 2H114EA01
, 2H114EA02
, 2H114EA06
, 2H114GA11
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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